| Á¦Ç°¸í |
°ø±Þ¹æ¹ý |
Àû¿ëºÐ¾ß |
¾ÈÀü |
»ê¼Ò(OXYGEN)
- O2 |
¹úÅ©
¸®ÄÜ
½Ç¸°´õ |
±Ý¼ÓÁ¤·Ã
¿ëÁ¢, Àý´Ü
»ê¼ÒºÎÈ
ºÒ²É±¤ÅÃ
»ê¼ÒÈ£Èí
¾ç½Ä |
ÃæºÐÇÑ È¯±â ¹× ÅëdzÀÌ µÈ »óÅ¿¡¼ º¸°ü
±â¸§(Oil), ¼öÁö(grease), źȼö¼Ò(Hydrocarbon)ÀÇ Á¦°Å
º¸È£Àåºñ ÀÛ¿ë
ÃÊÀú¿Â
¿¬¼ÒÀÇ °¡¼ÓÈ
µ¿»óÀ¯¹ß
Á¡È ¶Ç´Â Ãæ°Ý¿¡ ÈñÇÑ Æø¹ßÀ§Çè
Çö±âÁõ ¶Ç´Â Á¹À½ À¯¹ß |
Áú¼Ò(NITROGEN)
- N2 |
¹úÅ©
¸®ÄÜ
½Ç¸°´õ |
ÆÛ¡
ºÒȰ¼ººÐÀ§±â
ºê·¹ÀÌ¡ºÐÀ§±â
³Ã°¢¹ÚÀ½
ÃÊÀú¿ÂºÐ¼â
Áø°øÆ÷Àå
½Äǰµ¿°á
ÃÊÀü¿Â³Ã°¢ |
ÃæºÐÇÑ È¯±â ¹× ÅëdzÀÌ µÈ »óÅ¿¡¼ º¸°ü
¹ÐÆóµÈ Àå¼Ò¿¡¼ º¸°ü ¹× »ç¿ë±ÝÁö
º¸È£Àåºñ Âø¿ë
ÃÊÀú¿Â
Áú½Ä À¯¹ß
µ¿»óÀ¯¹ß
Çö±âÁõ ¶Ç´Â Á¹À½ À¯¹ß |
¾Ë°ï(Argon)
- Ar |
¹úÅ©
¸®ÄÜ
½Ç¸°´õ |
¿ëÁ¢
ºê·¹ÀÌ¡ ºÐÀ§±â
ºÒȰ¼ººÐÀ§±â
°¡½º Å©·Î¸¶Æ®±×¶óÇÇ
ÆÛ¡
AOD |
ÃæºÐÇÑ È¯±â ¹× ÅëdzÀÌ µÈ »óÅ¿¡¼ º¸°ü
Àå±â°£ º¸°ü ½Ã ¼±ÀÔ¼±Ãâ Àç°í°ü¸® ¹æ¹ý ÀÌ¿ë
º¸È£Àåºñ Âø¿ë
ÃÊÀú¿Â
Áú½Ä À¯¹ß
µ¿»óÀ¯¹ß |
ź»ê°¡½º
(Carbon Dioxide)
- CO2 |
¹úÅ©
¸®ÄÜ
½Ç¸°´õ |
½Äǰ/À½Ç¥»ê¾÷
Æó¼öó¸®
Á¶¸³±Ý¼Ó
½Ä¹°¼ºÀå
ÆÞÇÁ,Á¦Áö
¼¼Á¤ÀÛ¾÷
´ã¹èÁ¦Á¶
¿ìÀ¯°¡°ø
ÁÖ¹°»ê¾÷
¼ö¹æ¿ë µî |
ÃæºÐÇÑ È¯±â ¹× ÅëdzÀÌ µÈ »óÅ¿¡¼ º¸°ü
¹ÐÆóµÈ Àå¼Ò¿¡¼ º¸°ü ¹× »ç¿ë±ÝÁö
¿ÀÀϰú ¸ÕÁö°¡ Á¦°ÅµÈ û°áÇÑ Àå¼Ò¿¡ º¸°ü
º¸È£Àåºñ Âø¿ë
ÃÊÀú¿Â
Áú½Ä À¯¹ß
µ¿»óÀ¯¹ß
È£Èí ¹× ½ÉÀå ¹Úµ¿ Áõ°¡ ¿ì·Á
½Å°æ°èÅë ÀÚ±Ø À¯¹ß
Çö±âÁõ ¶Ç´Â Á¹À½ À¯¹ß |
Çï·ý(HELUM)
- He |
½Ç¸°´õ
µð¿Í |
±¤¼¶À¯Á¦Á¶
±Ý¼ÓÁ¦Á¶ ¹× Á¶¸³»ê¾÷
¿ìÁÖÇ×°ø
ÈÇаøÁ¤
´©Ãâ°Ë»ç
½ÉÇØÀá¼ö
Á¡ÀÚ»ê¾÷
¿øÀڷ¹ßÀü¼Ò
ÀÇ·á¿ëÀåºñ
dz¼±/ºñÇ༱ |
ÃæºÐÇÑ È¯±â ¹× ÅëdzÀÌ µÈ »óÅ¿¡¼ º¸°ü
¹ÐÆóµÈ Àå¼Ò¿¡¼ º¸°ü ¹× »ç¿ë±ÝÁö
º¸È£Àåºñ Âø¿ë
Áú½Ä À¯¹ß
µ¿»óÀ¯¹ß |
¼ö¼Ò(HYDROGEN)
- H2 |
|
½Äǰ»ê¾÷
ÈÇлê¾÷
±Ý¼ÓÁ¦Á¶ ¹× Á¶¸³»ê¾÷
Á¦¾à»ê¾÷
¿ìÁÖÇ×°ø
ÀüÀÚ»ê¾÷
¼®À¯Á¤Á¦»ê¾÷
µ¿·Â¹ßÀü |
ÃæºÐÇÑ È¯±â ¹× ÅëdzÀÌ µÈ »óÅ¿¡¼ º¸°ü
¹ÐÆóµÈ Àå¼Ò¿¡¼ º¸°ü ¹× »ç¿ë±ÝÁö
º¸È£Àåºñ Âø¿ë
°ø±â¿Í È¥ÇÕµÇ¾î Æø¹ß °¡´É¼º ÀÖÀ½
µ¿»óÀ¯¹ß
¹Ì¼¼ÇÑ ºÒ²É¿¡µµ Á¡È |
È¥ÇÕ°¡½º
(Mixed Gases) |
½Ç¸°´õ |
Ar+H2, Ar+CO2, Ar+O2, CO2+O2,
CO2+O2+He, CH2+Ar, He+N2
Co+ O2+ N2, H2+N2 |
·¹ÀÌÀú, Ư¼ö¿ëÁ¢, ÀÇ·á¿ë, Ư¼öºÐ¼®±â±â, ¿ëÇØ·Î.
Á¶¸í¹æ»ç´É ÃøÁ¤, ´©¼³°Ë»ç µî |
ÀüÀڹݵµÃ¼¿ë°¡½º
(Semicoductor Gases) |
¹úÅ©
¸®ÄÜ
½Ç¸°´õ |
Ar, H2, N2, O2, He, Sicl4, AsH3, B2H6,
PH3, CF4, C2F6, CHF3, HF, SF6,
BCl3, NH3, N2O, HCl, WF6 |
Carriers, Silicon Source, Dopant, Etchant, Reactant |
¼ø¼öƯ¼ö°¡½º
(Pure Specialty Gases) |
½Ç¸°´õ |
O2 (99.99%, 99.999%)
N2 (99.999%, 99.9999%)
Ar (99.999%, 99.9999%)
He (99.999%, 99.9999%)
H2 (99.999%, 99.9999%) |
°¢Á¾ºÐ¼®±â, ¼®À¯ÈÇаø¾÷, ȯ°æºÐ¾ß, ÀÚµ¿Â÷»ê¾÷
¹ÝµµÃ¼»ê¾÷, Àü±¸ºÀÀÔ¿ë ±Ý¼ÓÀÇ ºÐ±¤ºÐ¼®±â µî |
Ç¥Áذ¡½º
(Standard Gases) |
½Ç¸°´õ |
NOX+N2, SO2+N2
CO2+N2, HCL+N2, O2+N2 |
ȯ°æ ¹× ´ë±â¿À¿° ÃøÁ¤, ÀÚµ¿Â÷ ¹è±â°¡½º ÃøÁ¤,
¼®À¯ÈÇÐ
Á¦Á¶°øÁ¤ °ü¸®¿ë ºÐ¼®±â, °¢Á¾ºÐ¼®±â¿ë Ç¥Áذ¡½º
½ÇÇø½Ç ¿¬±¸¿ëµî |
Èñ±Í°¡½º ¹× ÃÊ°í¼øµµ °¡½º
(Rare Gas & Ultra High Purity Gases) |
½Ç¸°´õ |
Kr, Ne, Xe,
ÃÊ°í¼øµµ O2, N2, Ar, H2, CO2, He |
ÀÇ·á¿ë, Àü±¸º» ÀÔ¿ë, ·¹ÀÌÀú, °øÁ¤¿ë
(Process Gas)
¿µ»óÀåÄ¡(LCD, PDP),
À¯¸®»ê¾÷, ½ÇÇ迬±¸¿ë µî |